方案产品-沃瑞Voir SCU®半导体材料零部件

沃瑞SCU半导体材料零部件

沃瑞SCU半导体材料零部件

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Voir SCU®高柔扁平电缆方案

高洁净度及真空环境设备对移动线缆有更高要求，Voir SCU®真空扁平线缆&高柔扁平线缆无复杂设计，线缆和e-PTFE轻量一体化，满足线缆弯折移动信号完整性，免除微尘、释气污染和静电集聚危害。

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Voir SCU®无尘拖链方案

基于Pod护套核心e-PTFE材料配方升级,赋予Voir SCU®CABLE-Pod™ESD抗静电无尘拖链ESD抗静电功能，满足半导体封装、CCD检测及其他ESD敏感设备线缆苛刻的防护诉求。

Voir SCU®全氟过滤器及过滤膜方案

Voir SCU®微电子过滤膜具有高截留和流量平衡特性，在不牺牲吞吐量的情况下帮助制造过程滤除纳米级污物，保证纯度，提高产量。

Voir SCU®氟密封材料方案

半导体芯片制造设备对密封、隔热与隔离防护要求极高，Voir SCU®氟密封洁净材料基于氟聚合物材料技术，为设备提供可靠的氟密封隔热隔离防护方案。

Voir SCU®臭氧化模组方案

传统化学品清洗工艺成本高、危险且不环保，Voir SCU®臭氧化模组内置折叠微孔e-PTFE氟膜、全氟材质，提供无气泡的高洁净臭氧水解决方案，助力提升半导体清洁工艺效能。

Voir SCU® ePTFE真空标签方案

Voir SCU®真空系列方案产品已应用于半导体微电子，真空设备、ALD/PVD/CVD镀膜设备、显示/光通信设备以及无尘洁净环境。

Voir SCU®电缆组件及其他

Voir SCU®电缆组件替代半刚性电缆，延长测试电缆使用寿命，减少电缆维护时间，实现更长距离、更快速稳定的信号传递。

Voir SCU®膜式干燥器方案

基于氟聚合物材料技术的 Voir SCU®膜式干燥器能过滤湿润杂质气体，确保干燥器内部气体清洁干燥的同时免维护。主打无能耗、免维护、高可靠，专为工业气动系统与非腐蚀性气体的除湿干燥设计。

Voir SCU®高洁净气体增湿装置方案

半导体制程对气体湿度控制的精度与洁净度要求严苛，Voir SCU®高洁净气体增湿装置采用折叠e-PTFE亲水膜创新技术，体积小、压损低，实现气体精准稳定增湿。