沃瑞SCU半导体材料零部件

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真空无尘拖链

方案描述

Voir SCU®真空无尘拖链是专为高真空、超高真空、高洁净、无释气、低微粒严苛制程环境定制的专业管线防护解决方案,针对性解决传统拖链在真空腔体内部往复运动时易释气、易挥发、摩擦产尘、残留微粒、真空度衰减、污染真空腔体、破坏精密制程等核心行业痛点,是真空精密自动化设备的核心配套防护部件

应用领域

  • 半导体真空制程行业

  • 光电显示真空设备领域

  • 精密真空检测领域

产品参数

材质:

纯ePTFE



寿命:

≥2000万次



最大运行速度:

2m/s



允许最大加速度:8G(9.8m/s^2)

最小弯曲半径:

R45mm



线缆直径:

厚度≤10.0,宽度<70mm



使用温度范围:

-10~250°C



行程:

视情况客户要求mm



真空释气率:

TML≤1%,CVCM≤0.1% ASTME595-2015



环保要求:

ROHS2.0/REACH



线缆参考标准:

UL



参考洁净标准:

IPA Classl ISO14644-1




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